“没有工艺的设备就像人没有大脑，是没有智慧的傻子。”2010年中国信息产业年度经济人物——— 中国电科48所所长唐景庭如是说。“一代工艺，一代设备。”只有在一流的工艺指导下，才能研制开发出一流的设备。如果在产业发展...

中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称四十五所)是我国专业从事半导体专用工艺设备研发、制造和技术服务的大型科研生产机构，承担着多项“863”重大设备攻关、国家02专项、IC后封装设备产业化示范工程关键设备研发与产业化以及工业和信息...